3月2日，記者從清華大學(xué)精密儀器系獲悉，該系張書(shū)練教授課題組進(jìn)行原理研究并由北京鐳測(cè)科技有限公司開(kāi)發(fā)生產(chǎn)的雙折射雙頻激光干涉儀實(shí)現(xiàn)批量生產(chǎn)。

　　雙頻（兩頻率）激光干涉儀是科學(xué)研究、光刻機(jī)、數(shù)控機(jī)床、航空航天、艦船等行業(yè)都離不開(kāi)的光學(xué)尺子，用于測(cè)量零部件的尺寸，角度，位置，直線(xiàn)性，也是檢定各類(lèi)數(shù)控機(jī)床、激光加工機(jī)床以及光刻機(jī)臺(tái)的精度，進(jìn)行誤差補(bǔ)償?shù)幕緝x器。

　　張書(shū)練介紹，雙頻激光器是雙頻激光干涉儀的核心部件。國(guó)外干涉儀廠家都是自制專(zhuān)用激光器，稱(chēng)為塞曼雙頻激光器，不對(duì)外供應(yīng)。此前我國(guó)的雙頻激光干涉儀只能進(jìn)口普通激光器，從中選出可用的，淘汰率高，性能上不去，導(dǎo)致雙頻激光干涉儀國(guó)產(chǎn)化困難。

　　據(jù)介紹，此次清華大學(xué)精密儀器系發(fā)明的雙折射原理的雙頻激光器比傳統(tǒng)的塞曼雙頻激光器的激光功率高一倍、頻率間隔大一倍或兩三倍、沒(méi)有兩個(gè)頻率之間耦合串混。分辨率達(dá)到1納米(十億分之一米)，線(xiàn)性測(cè)量長(zhǎng)度范圍0到70米，非線(xiàn)性誤差小于1納米，測(cè)量速度超過(guò)2米。

　　張書(shū)練指出，雙折射雙頻激光器的使用帶動(dòng)了干涉儀整機(jī)的光機(jī)電系統(tǒng)創(chuàng)新設(shè)計(jì)，使雙折射雙頻激光干涉儀具有便攜，方便，魯棒等優(yōu)良性能。