縮小尺寸降低成本

Micro-LED已經(jīng)成為當前的熱點，關(guān)于Micro-LED未來的發(fā)展，產(chǎn)業(yè)界目前已經(jīng)達成一定的共識，即Micro-LED芯片必須進一步縮小尺寸降低成本，以尋求更廣泛的應用場景，并且在某些市場領(lǐng)域，芯片尺寸必須達到10μm甚至低于5μm。而在微米級尺寸的巨量轉(zhuǎn)移領(lǐng)域，激光方案應該是將LED晶粒從外延片轉(zhuǎn)移到最終驅(qū)動背板的優(yōu)選方案。

（圖片來源：Coherent相干公司）

成功實現(xiàn)小批量生產(chǎn)

由Coherent相干公司開發(fā)的激光巨量轉(zhuǎn)移方案已經(jīng)持續(xù)研發(fā)了數(shù)年，并且已成功在客戶端實現(xiàn)小批量生產(chǎn)，同時不斷有新的合作伙伴開始和Coherent相干公司合作進行激光巨量轉(zhuǎn)移的測試和試生產(chǎn)。

（圖片來源：Coherent相干公司）

準確性和穩(wěn)定性是關(guān)鍵

在巨量轉(zhuǎn)移制程中，決定產(chǎn)量和良率的關(guān)鍵是轉(zhuǎn)移的準確性和穩(wěn)定性。Coherent相干公司的激光巨量轉(zhuǎn)移系統(tǒng)目前可以支持最小5μm尺寸LED晶粒實現(xiàn)高速高精度的巨量轉(zhuǎn)移，未來的發(fā)展規(guī)劃是可以實現(xiàn)3μm以下LED晶粒的高速轉(zhuǎn)移，并且實現(xiàn)較快的轉(zhuǎn)移速度和理想的良品率，以達到可以支持大批量生產(chǎn)的目標。在轉(zhuǎn)移穩(wěn)定性方面，現(xiàn)在Coherent相干公司的巨量轉(zhuǎn)移方案在有效處理區(qū)域內(nèi)的晶粒轉(zhuǎn)移均勻度達到了很高的一致性，這樣對于實現(xiàn)更大區(qū)域轉(zhuǎn)移提供了較大的工藝窗口。

（圖片來源：Coherent相干公司）

（圖片來源：Coherent相干公司）

每秒數(shù)百萬顆芯片傳輸速度

對于高分辨率顯示器，Coherent相干公司的準分子激光系統(tǒng)可以在單個激光脈沖內(nèi)轉(zhuǎn)移大量LED晶粒，目前轉(zhuǎn)移速率已經(jīng)可以達到每秒數(shù)百萬顆芯片的傳輸速度。Coherent相干公司規(guī)劃的短期目標是可以在一小時內(nèi)完成數(shù)臺8K電視面板的巨量轉(zhuǎn)移工藝。每臺8K電視面板約相當于1億顆RGB LED芯片，這意味著巨量轉(zhuǎn)移工藝需要在保證轉(zhuǎn)移精度和均勻度的前提下至少達到每秒千萬顆的傳輸速度。這是一項充滿挑戰(zhàn)的工作，同時也令Micro-LED產(chǎn)業(yè)界充滿期待。