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飛秒激光無損去除薄膜材料

星之球科技 來源:榮格國際工業(yè)激光商情2019-06-17 我要評論(0 )   

隨著超快激光技術(shù)的快速發(fā)展,飛秒激光因其相 對于皮秒激光的更短脈沖、更高峰值,應(yīng)用優(yōu) 勢越來越明顯,其中以玻璃表面涂層去除

隨著超快激光技術(shù)的快速發(fā)展,飛秒激光因其相 對于皮秒激光的更短脈沖、更高峰值,應(yīng)用優(yōu) 勢越來越明顯,其中以玻璃表面涂層去除更能 體現(xiàn)優(yōu)勢。

玻璃基板 CIGS 太陽能薄膜電池刻蝕

CIGS 薄膜太陽能電池鍍膜后,需要在指定區(qū)域用激光 將其刻蝕掉,皮秒和納秒激光,去除鍍膜時會有殘留,同時 熱量對玻璃表面產(chǎn)生損傷,降低了薄膜電池的透光率和使用 壽命。

白色為激光刻蝕區(qū)域

武漢安揚激光技術(shù)有限責任公司研發(fā)的飛秒工業(yè)激光器 FemtoYL 系列產(chǎn)品,300fs 超窄脈寬,5000kHz 超高頻率, <1.3 光束質(zhì)量,<10um 的聚焦光斑 , 能有效解決這些問題。 依測試,優(yōu)選參數(shù)為 1000kHz,10-30μj 脈沖能量(不同產(chǎn) 品),3000-5000mm/s 掃描速度。高能量密度的聚焦光斑, 在高速振鏡的配合下,重疊率達 80%,快速高效,去除均勻, 使產(chǎn)品透光率高達 90% 以上;高效去除的同時,對玻璃 0 損傷,大幅提高產(chǎn)品壽命。

10ps 效果,損傷基層鍍膜   300fs 效果,基層無任何損傷

手機玻璃蓋板去涂層

玻璃蓋板因其高強度、高硬度、對信號無干擾等優(yōu)勢,在 手機行業(yè)廣泛應(yīng)用,通常后蓋采用絲印工藝,之后輔以激光加 工去除指定位置的鍍膜 或油墨。納秒和皮秒激 光去除涂層時,熱損傷 導(dǎo)致的玻璃強度明顯下 降,降低蓋板的抗沖擊 性,同時去除存在殘留, 極大影響了攝像頭等功 能孔位置的透光性。

應(yīng)用實例

武漢安揚激光技術(shù)有限責任公司研發(fā)的飛秒工業(yè)激光器 FemtoYL 系列產(chǎn)品,能精確高效完美的去除預(yù)設(shè)區(qū)域的涂層。

產(chǎn)品油墨厚度一般為 10-40μm 之間,測試激光頻率 300-800k,脈沖能量10-40uj,激光焦點距油墨面0-1mm 之間, 500-2000mm/s 掃描速度,重疊率 65-90%,依油墨厚度的差 別,優(yōu)選出不同參數(shù)組合;同時配合 Femto'YL 飛秒光源的 超短脈沖,在極短的時間內(nèi)將油墨層去除,累計熱量不足以 使玻璃材質(zhì)產(chǎn)生變化,配合振鏡重復(fù)掃描,實現(xiàn)均勻去除油 墨的同時不損傷玻璃基底,以保證加工后的玻璃透光性好, 無內(nèi)應(yīng)力,無微裂紋,有效增強抗沖擊。

300fs 去除后效果均勻一致 10ps 去除后有殘留,不均勻

相信隨著超快激光的不斷發(fā)展,以及行業(yè)需求的不斷 推進,飛秒激光將會在科研領(lǐng)域,微電子器件,醫(yī)療器件, 3C 電子等更多領(lǐng)域的精密加工應(yīng)用中,有更廣闊的發(fā)展 空間。

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飛秒激光激光激光技術(shù)
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