太陽電池制造是產業(yè)中最重要的一環(huán)，對于太陽電池制造商來說，增效降本始終是其追求的目標。如何從技術角度提高太陽電池轉換效率，是在電池生產中不斷探求解決方案的過程。

當前，PERC太陽電池量產轉換效率已達到21.5%，主要得益于其背表面優(yōu)異的鈍化效果（氧化鋁或氧化硅薄膜等）。對于其下一步提效方向,即降低正表面復合速率，其中SE結構（Selective Emitter）是達到此效果的重要技術。目前，實現SE結構的技術手段包括: 掩膜法、印刷磷源法、激光方式、硅墨技術、反蝕法等。對于PERC電池產線而言，激光PSG摻雜技術工藝過程最為簡單，工藝流程中只需增加激光摻雜一個步驟；從設備上說，也只需增加摻雜用激光設備即可，與常規(guī)產線兼容性強，是行業(yè)研究熱點。因此，PERC太陽電池疊加激光SE技術，成為當下各家光伏大廠提效的主要手段。

深圳市大族太陽能裝備有限公司為滿足客戶需求，研制出高產能、工藝效果佳的激光摻雜設備，同時根據客戶現場實際工藝情況，提供激光SE整體應用解決方案，可有效提高太陽電池轉換效率。

激光摻雜技術原理：

激光摻雜技術是在金屬柵線（電極）與硅片接觸部分進行重摻雜，而電極以外位置保持輕摻雜（低濃度摻雜）。通過熱擴散方式，在硅片表面進行預擴散，形成輕摻雜；同時表面PSG作為局部激光重摻雜源，通過激光局部熱效應，PSG中磷原子二次快速擴散至硅片內部，形成局部重摻雜區(qū)。配合激光高精度圖形化，可實現與后續(xù)絲網印刷完美套印效果。

激光局部摻雜即SE技術，主要有以下優(yōu)勢：

1）降低太陽電池串聯電阻，提升FF；

2）減少表面復合，提高表面鈍化效果；

3）表面低濃度擴散，提高了電池短波響應，提高短路電流和開路電壓。

 

激光摻雜的優(yōu)點：

1）僅需激光圖形化一步即可完成，工藝流程簡單；

2）局部激光熱效應，最大限度降低高溫對硅本體熱損傷；

3）激光加工過程簡單、無需化學處理，無污染。

大族激光摻雜設備：

大族太陽能裝備自主研發(fā)的激光摻雜機，采用新一代光束整形技術（方形光斑、大小可調），能最大限度降低硅襯底損傷，產能高達5500pcs/h。設備內整體大理石平臺、高精度CCD視覺定位系統、高速柔性傳輸機構、獨立除塵系統等配置，保證碎片率低于0.05%。

除了激光摻雜技術以外，大族太陽能裝備針對太陽能行業(yè)的需求，進行全面系統的技術研發(fā)和設備開發(fā)工作，致力于為太陽能行業(yè)提供整套成熟的激光解決方案，成為行業(yè)內激光加工裝備的領先供應商。