——訪Beda Espinoza，MKS & Newport 運(yùn)動(dòng)控制產(chǎn)品高級(jí)研發(fā)經(jīng)理
本次光博會(huì)，Newport（理波）公司展出了旗下一系列創(chuàng)新產(chǎn)品。MKS & Newport 運(yùn)動(dòng)控制產(chǎn)品高級(jí)研發(fā)經(jīng)理Beda Espinoza先生在受訪時(shí)向我們一一介紹道，“例如，我們?cè)谕诘腟emicon china（中國半導(dǎo)體展）展臺(tái)上帶來了全新的工業(yè)級(jí)電動(dòng)垂直位移臺(tái) IDL280-Z20，它適用于需要高負(fù)載能力的工業(yè)應(yīng)用；而CeraMech碳化硅位移臺(tái)則將創(chuàng)新的碳化硅材料作為平臺(tái)基體，以較低的價(jià)格提供了氣浮軸承平臺(tái)所需的出眾性能。這兩款產(chǎn)品都是針對(duì)半導(dǎo)體或包括晶圓加工到激光微加工等在內(nèi)的工業(yè)應(yīng)用所設(shè)計(jì)。”他一一悉數(shù)。
而在光博會(huì)的主展位，Newport展出的是其最新的XPS-Dx通用型運(yùn)動(dòng)控制器。據(jù) Espinoza先生介紹，該系列控制器具有更快的伺服響應(yīng)速度，4軸位置同步，配有一款可實(shí)現(xiàn)1nm MIM最小位移增量的通用數(shù)字驅(qū)動(dòng)器。“升級(jí)的版本在控制速度、精度和執(zhí)行復(fù)雜運(yùn)動(dòng)控制方面有重大改進(jìn)，同時(shí)更輕更緊湊。我們甚至可以降低這款控制器的價(jià)格，使其不僅在性能上能夠很好地服務(wù)于市場(chǎng)，同時(shí)展現(xiàn)出更高的成本效益。”另外，他表示對(duì)于研究人員而言，中國正成為高級(jí)研發(fā)中心，Newport也已推出用于超快光譜領(lǐng)域的DL系列光纖延遲線，由此通過專門設(shè)計(jì)用于處理泵浦探測(cè)或多維光譜的延遲線加快了材料和工藝的研究進(jìn)程。
Beda Espinoza，MKS & Newport 運(yùn)動(dòng)控制產(chǎn)品高級(jí)研發(fā)經(jīng)理
另一款重要的產(chǎn)品是HXP200-MECA六軸并聯(lián)定位系統(tǒng)，它能夠提供六維自由度運(yùn)動(dòng)，負(fù)載能力50kg，特別適合于需要高負(fù)載、高精度能力和高復(fù)雜運(yùn)動(dòng)的校準(zhǔn)、生產(chǎn)和測(cè)試等應(yīng)用領(lǐng)域。“與HXP系列搭配的還包括我們最新的HXP仿真軟件V1.1，該仿真軟件可以向用戶指示在操作HXP并聯(lián)定位系統(tǒng)時(shí)是否會(huì)發(fā)生碰撞，具體通過在HXP使用的模擬環(huán)境中創(chuàng)建或上傳三維物體，并相應(yīng)模擬位置以及驗(yàn)證碰撞可能性。”他補(bǔ)充道。
在Espinoza先生看來，未來中國市場(chǎng)的規(guī)模和潛力將繼續(xù)增長(zhǎng)，而Newport也將不斷為中國市場(chǎng)推出更多量身定制的產(chǎn)品。“我覺得激光和半導(dǎo)體等行業(yè)對(duì)光電產(chǎn)品的需求正在加速釋放，我們將順勢(shì)而為。例如，隨著越來越多的應(yīng)用領(lǐng)域被開發(fā)出來，我們的IDL系列直線位移臺(tái)的需求將持續(xù)上升，這些應(yīng)用主要包括空氣凈化、非接觸式組件以及硬性覆蓋物等。”
同時(shí)，Espinoza先生表示，自2016年Newport集團(tuán)被萬機(jī)儀器(MKS Instruments)收購以來，兩家公司之間的協(xié)同效應(yīng)不斷加深。“結(jié)合MKS全球領(lǐng)先的真空和控制解決方案與Newport的光源、光電儀器、激光器、光學(xué)平臺(tái)、運(yùn)動(dòng)控制、光學(xué)機(jī)械構(gòu)件、光學(xué)元件、光分析與測(cè)量等門類齊全的光電科技產(chǎn)品，這種強(qiáng)強(qiáng)聯(lián)手的優(yōu)勢(shì)使我們能夠以最快的速度和最優(yōu)的品質(zhì)向市場(chǎng)源源不斷推出引領(lǐng)科技前沿的光電技術(shù)、產(chǎn)品和解決方案，并且能夠滿足各個(gè)終端應(yīng)用領(lǐng)域的獨(dú)特需求。”
最后，Espinoza先生透露，Newport公司近兩年也將會(huì)有擴(kuò)張計(jì)劃，雖然具體細(xì)節(jié)目前還無法透露，但有理由相信，求新求變，不斷沖擊光電領(lǐng)域的至高點(diǎn)定是公司的核心目標(biāo)。
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