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2020-07-11 09:20國產(chǎn)5nm激光光刻取得重大進(jìn)展,專家:打破西方封鎖

2020-07-08 21:20中科院研發(fā)新型激光光刻技術(shù)：不用EUV 直擊5nm

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再度突破，哈工大公布重要光刻機(jī)技