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QFL-XY-SG系列三軸高精度運(yùn)動(dòng)臺(tái)

品牌:
瑞邦精控
價(jià)格:
0.00
起訂:
0
供貨總量:
0
發(fā)貨期限:
自買家付款之日起 3 天內(nèi)發(fā)貨
地址:
北京順義馬坡
有效期限:
長(zhǎng)期有效
最后更新:
2024-04-22
公司基本資料信息
商品詳情

產(chǎn)品特點(diǎn)

 

?   XY軸非接觸式氣浮結(jié)構(gòu)                                    ?  Z軸平升直驅(qū)結(jié)構(gòu)

    ?   結(jié)構(gòu)緊湊、精度高                                              ?  亞微米級(jí)重復(fù)定位精度

?   XY直線度±50nm                                                 ?  Z直線度1μm內(nèi)

?   根據(jù)需求可定制                                                  ?  高柔線纜管理系統(tǒng)

 


應(yīng)用領(lǐng)域

QFL-XY-SG系列是一款結(jié)構(gòu)緊湊的三軸精密運(yùn)動(dòng)臺(tái),亞微米精度用于飛秒激光加工、測(cè)試測(cè)量、高精度掃描、半導(dǎo)體及光子學(xué)等行業(yè)。

 

結(jié)構(gòu)特點(diǎn)

XY軸為非接觸式氣浮結(jié)構(gòu),精度高和外形尺寸小等特點(diǎn),氣浮導(dǎo)軌間沒有機(jī)械接觸,免維護(hù)運(yùn)行。Z軸為平升直驅(qū)結(jié)構(gòu),承載能力大,抗蠕變交叉滾柱導(dǎo)軌垂直導(dǎo)向,提升直線度性能,可選雙閉環(huán)反饋的方式,獲得高重復(fù)定位精度和定位精度。

 

精度性能

XY軸氣浮運(yùn)動(dòng)臺(tái)的定位精度±0.1μm,雙向重復(fù)定位精度±50nm,直線度±0.05μm,平面度±0.1μm,Pitch Yaw ±0.5arc sec,平升Z軸的定位精度±0.1μm,雙向重復(fù)定位精度±50nm,直線度±0.5μm。

 

線纜管理

使用高質(zhì)量的高柔排線和氣管,線管彎曲半徑產(chǎn)生的擾動(dòng)力影響可忽略不計(jì),運(yùn)動(dòng)中線纜和氣管不影響氣浮運(yùn)動(dòng)臺(tái)的性能。此外,可定制帶屏蔽高柔線纜,適合環(huán)境噪聲大的場(chǎng)合。 

 

定制化

XY軸可定制陶瓷材質(zhì)氣浮導(dǎo)軌,直線度可達(dá)±50nm。


規(guī)格指標(biāo)

型號(hào)

單位

QFL-50-50-20SG

QFL-100-100-35SG





軸系

X

Y

Z

X

Y

Z

行程

mm

50

50

20

100

100

35

補(bǔ)償后定位精度 

Plus (1)

μm

±0.1

±0.1

±0.1

±0.15


標(biāo)準(zhǔn)值

±0.2

±1

±0.2

±1




雙向重復(fù)定位精度

Plus (1)

μm

±0.05

±0.05

±0.05

±0.075


標(biāo)準(zhǔn)值

±0.1

±0.5

±0.1

±0.25




直線度 (2)

Plus (1)

μm

±0.05

±0.5

±0.05

±0.5


標(biāo)準(zhǔn)值

±0.25

±3

±0.25

±4




平面度 (2)

Plus (1)

μm

±0.1

±0.1


標(biāo)準(zhǔn)值

±0.35

±0.4




Pitch Roll Yaw (2)

Plus (1)

arc sec

±0.35

±2

±0.4

±2


標(biāo)準(zhǔn)值

±1

±5

±1

±5




電子分辨率 (3) 

nm

0.3 或 5(選配)






最大速度 (空載) (4)

mm/s

100

10

100

10



最大負(fù)載

kg

10






注:

以上為單軸精度指標(biāo),在潔凈間內(nèi)測(cè)試,溫度20℃±0.5℃,濕度40%~60%RH,振動(dòng)等級(jí)VC-F,測(cè)試點(diǎn)在負(fù)載板上25mm處,測(cè)試速度10mm/s,Renishaw激光干涉儀測(cè)量及自帶分析方法,多軸系統(tǒng)精度測(cè)試與負(fù)載尺寸及測(cè)試點(diǎn)高度有關(guān),環(huán)境的變化會(huì)導(dǎo)致精度變化,如要求非標(biāo)準(zhǔn)測(cè)試,請(qǐng)咨詢我們。

1. Plus值為高精度指標(biāo),是標(biāo)準(zhǔn)值的升級(jí)版。

2. 取決于平臺(tái)安裝表面的平面度。

3. 電子分辨率取決光柵尺及控制器的細(xì)分倍數(shù)。

4. 空載條件下指標(biāo),最大速度取決于負(fù)載大小。