產(chǎn)品特點(diǎn)
l ? 非接觸開式氣浮結(jié)構(gòu) ? 行程25~150mm可選
l ? 重復(fù)定位精度±50nm ? 直線度±0.1μm，平面度±0.15μm
l ? 擺角誤差±0.5arc sec ? 帶防護(hù)罩防塵裝置
應(yīng)用領(lǐng)域
QFL-FH系列氣浮運(yùn)動(dòng)臺(tái)帶防護(hù)罩裝置，可作為單軸使用，或與其它軸組裝成多軸系統(tǒng)，用于超精密加工，金剛石單點(diǎn)車等加工行業(yè)。
結(jié)構(gòu)特點(diǎn)
QFL-FH氣浮運(yùn)動(dòng)臺(tái)主要采用氣浮導(dǎo)軌、直線電機(jī)和光柵尺組成，開式氣浮導(dǎo)軌，永磁預(yù)載，多孔與小孔相結(jié)合的方式，側(cè)向剛度大，適用于超精密加工等行業(yè)。氣浮導(dǎo)軌可根據(jù)客戶需求定制多種版本，有航空鋁合金版、大理石版、氧化鋁版及碳化硅版。最高直線度可達(dá)0.1μm內(nèi)，重復(fù)定位精度最高可達(dá)±15nm。
精度性能
氣浮導(dǎo)軌基于氣體靜壓效應(yīng)，實(shí)現(xiàn)無(wú)摩擦和無(wú)振動(dòng)地平滑移動(dòng)，QFL-FH系列氣浮運(yùn)動(dòng)臺(tái)，行程25~150mm可選，定位精度±0.1μm，雙向重復(fù)定位精度±50nm，直線度±0.1μm，平面度±0.15μm，Pitch、Roll及Yaw ±0.5arc sec，由于非接觸式移動(dòng)，高精度直線光柵閉環(huán)反饋，系統(tǒng)跟隨誤差有了質(zhì)地提升。
防塵設(shè)計(jì)
采用獨(dú)特的密封裝置，最小阻尼系數(shù)不影響精度性能，在應(yīng)用中防止異物進(jìn)入氣浮導(dǎo)軌。
定制化
可定制碳化硅材質(zhì)的氣浮導(dǎo)軌，提升精度性能。
規(guī)格指標(biāo)
型號(hào) | 單位 | QFL-FH-25 | QFL-FH-75 | QFL-FH-100 | QFL-FH-125 | QFL-FH-150 | |
行程 | mm | 25 | 75 | 100 | 125 | 150 | |
補(bǔ)償后定位精度 | Plus (1) | μm | ±0.05 | ±0.1 | ±0.1 | ±0.1 | ±0.1 |
標(biāo)準(zhǔn)值 | ±0.1 | ±0.2 | ±0.2 | ±0.2 | ±0.2 | ||
雙向重復(fù)定位精度 | Plus (1) | μm | ±0.025 | ±0.05 | ±0.05 | ±0.05 | ±0.05 |
標(biāo)準(zhǔn)值 | ±0.05 | ±0.1 | ±0.1 | ±0.1 | ±0.1 | ||
直線度 (2) | Plus (1) | μm | ±0.05 | ±0.1 | ±0.1 | ±0.1 | ±0.1 |
標(biāo)準(zhǔn)值 | ±0.1 | ±0.25 | ±0.25 | ±0.4 | ±0.4 | ||
平面度 (2) | Plus (1) | μm | ±0.05 | ±0.1 | ±0.1 | ±0.15 | ±0.15 |
標(biāo)準(zhǔn)值 | ±0.25 | ±0.35 | ±0.4 | ±0.5 | ±0.5 | ||
Pitch Roll Yaw (2) | Plus (1) | arc sec | ±0.25 | ±0.35 | ±0.4 | ±0.45 | ±0.5 |
標(biāo)準(zhǔn)值 | ±0.5 | ±1 | ±1 | ±1.5 | ±1.5 | ||
最大速度 (空載) (4) | mm/s | 50 | 100 | 300 | 300 | 300 | |
電子分辨率 (3) | nm | 0.3 或 5（選配） | |||||
最大加速度 (空載) (4) | m/s2 | 1,（≥5 定制） | |||||
最大負(fù)載 | kg | 15 | |||||
供氣壓力 (5) | MPa | 0.5±0.05 |
注：
以上為單軸精度指標(biāo)，在潔凈間內(nèi)測(cè)試，溫度20℃±0.5℃，濕度40%~60%RH，振動(dòng)等級(jí)VC-F，測(cè)試點(diǎn)在負(fù)載板上25mm處，測(cè)試速度10mm/s，Renishaw激光干涉儀測(cè)量及自帶分析方法，多軸系統(tǒng)的精度測(cè)試與負(fù)載尺寸及測(cè)試點(diǎn)高度有關(guān)，環(huán)境的變化會(huì)導(dǎo)致精度變化，如要求非標(biāo)準(zhǔn)測(cè)試，請(qǐng)咨詢我們。
1. Plus值為高精度指標(biāo)，是標(biāo)準(zhǔn)值的升級(jí)版。
2. 取決于平臺(tái)安裝表面的平面度。
3. 電子分辨率取決光柵尺及控制器的細(xì)分倍數(shù)。
4. 空載條件下指標(biāo)，最大速度和加速度取決于負(fù)載大小。
5. 為保護(hù)氣浮導(dǎo)軌建議加裝壓力保護(hù)開關(guān)。壓縮空氣必須是清潔的（過(guò)濾至0.25μm或更佳，ISO8573-1），無(wú)水（壓力露點(diǎn)-20℃，ISO8573-1級(jí)別3）及無(wú)油（ISO8573-1級(jí)別1）。
