產(chǎn)品特點(diǎn)

l ?  非接觸閉式氣浮結(jié)構(gòu)                                                    ?  行程100~1000mm可選

l ?  亞微米級(jí)重復(fù)定位精度                                                ?  全行程直線度優(yōu)于1μm

?  高柔線纜管理                                                                ?  可定制化設(shè)計(jì)

應(yīng)用領(lǐng)域

QFU系列是一款大行程氣浮運(yùn)動(dòng)臺(tái)，閉式氣浮結(jié)構(gòu)，常規(guī)最大行程1米，直線度優(yōu)于1μm，用于精密加工、測(cè)試測(cè)量、掃描、半導(dǎo)體及光子學(xué)等行業(yè)。

結(jié)構(gòu)特點(diǎn)

QFU系列主要采用氣浮導(dǎo)軌、直線電機(jī)和光柵尺組成，閉式氣浮結(jié)構(gòu)，氣浮導(dǎo)軌四面均勻受力，相較于開(kāi)式氣浮結(jié)構(gòu)，側(cè)向氣浮剛度更大，承載能力更強(qiáng)，模態(tài)更高，系統(tǒng)帶寬更大，相位裕度和幅值裕度余量更大，對(duì)于大體積、大負(fù)載及偏心安裝等負(fù)載形式，更能突顯其性能優(yōu)勢(shì)。

精度性能

氣浮導(dǎo)軌基于氣體靜壓效應(yīng)，實(shí)現(xiàn)無(wú)摩擦和無(wú)振動(dòng)地平滑移動(dòng)，與摩擦式導(dǎo)軌相比，氣浮運(yùn)動(dòng)臺(tái)的直線度、平面度可達(dá)亞微米，Pitch Yaw指標(biāo)可達(dá)1角秒內(nèi)，由于非接觸式，系統(tǒng)跟隨誤差有了質(zhì)地提升，定位精度和重復(fù)精度得到了顯著提高，行程100~1000mm可選。

線纜管理

使用高質(zhì)量、高柔性的屏蔽線纜，管線彎曲半徑更小，能夠防止電子信號(hào)的干擾，同時(shí)防止動(dòng)作過(guò)程中線纜的拉伸影響到氣浮運(yùn)動(dòng)臺(tái)的性能。

定制化

可定制陶瓷材質(zhì)氣浮導(dǎo)軌，1米行程直線度可優(yōu)于±0.5μm，更大行程也可接受定制。

規(guī)格指標(biāo)

注：

以上為單軸精度指標(biāo)，在潔凈間內(nèi)測(cè)試，溫度20℃±0.5℃，濕度40%~60%RH，振動(dòng)等級(jí)VC-F，測(cè)試點(diǎn)在負(fù)載板上25mm處，測(cè)試速度10mm/s，Renishaw激光干涉儀測(cè)量及自帶分析方法，多軸系統(tǒng)的精度測(cè)試與負(fù)載尺寸及測(cè)試點(diǎn)高度有關(guān)，環(huán)境的變化會(huì)導(dǎo)致精度變化，如要求非標(biāo)準(zhǔn)測(cè)試，請(qǐng)咨詢我們。

1. Plus值為高精度指標(biāo)，是標(biāo)準(zhǔn)值的升級(jí)版。

2. 取決于平臺(tái)安裝表面的平面度。

3. 電子分辨率取決光柵尺及控制器的細(xì)分倍數(shù)。

4. 空載條件下指標(biāo)，最大速度和加速度取決于負(fù)載大小。

5. 為保護(hù)氣浮導(dǎo)軌建議加裝壓力保護(hù)開(kāi)關(guān)。壓縮空氣必須是清潔的（過(guò)濾至0.25μm或更佳，ISO8573-1），無(wú)水（壓力露點(diǎn)-20℃，ISO8573-1級(jí)別3）及無(wú)油（ISO8573-1級(jí)別1）。

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