激光干涉儀是以光波為載體，以光波波長為單位的一種計量測試方法，是公認(rèn)的高精度、高靈敏度的檢測手段，在高端制造領(lǐng)域應(yīng)用廣泛。

SJ6000激光干涉儀產(chǎn)品采用美國進口高穩(wěn)頻氦氖激光器、激光雙縱模熱穩(wěn)頻技術(shù)、高精度環(huán)境補償模塊、幾何參量干涉光路設(shè)計、高精度激光干涉信號處理系統(tǒng)、高性能計算機控制系統(tǒng)技術(shù)，實現(xiàn)各種參數(shù)的高精度測量。通過激光熱穩(wěn)頻控制技術(shù)，實現(xiàn)快速(5~10分鐘)、高精度(0.05ppm)、抗干擾能力強、長期穩(wěn)定性好的激光頻率輸出，采用不同的光學(xué)鏡組與激光配合，得到不同的干涉信號，然后通過高精度激光干涉信號處理系統(tǒng)得到干涉數(shù)據(jù)，將數(shù)據(jù)通過計算機進行顯示和動態(tài)分析。

1.測量精度高、速度快，穩(wěn)定性好

①使用美國高性能氦氖激光器，結(jié)合伺服穩(wěn)頻控制系統(tǒng)，達到高精度穩(wěn)頻(0.05ppm)

②以光波長(633nm)為測量單位，分辨率可達nm級

③使用高速光電信號采樣和處理技術(shù)，測量速度可達到4m/s。

④配合有環(huán)境補償單元，在環(huán)境變化的情況下，也可以得到較高的測量精度

⑤分離式干涉鏡設(shè)計，避免了測量鏡組由于主機發(fā)熱而引起的鏡組形變

2. 應(yīng)用范圍廣

①可以實現(xiàn)線性、角度、直線度、垂直度、平面度等幾何量的檢測

②結(jié)合我們的軟件系統(tǒng)，可以用于速度，加速度，振動分析以及穩(wěn)定度等分析

③ 可實時監(jiān)控精密加工機床等機器的動態(tài)數(shù)據(jù)，進行動態(tài)特性分析

3.軟件界面友好

①使用當(dāng)前熱門的軟件界面開發(fā)工具，軟件界面人性化，操作簡單。

②將靜態(tài)測量和動態(tài)測量兩種功能合并到一個軟件中，更方便用戶切換測量類型。

③向?qū)讲僮鳎鞒糖逦?，更符合國?nèi)用戶的使用習(xí)慣。

4 性價比高

性能達到了國外儀器的水準(zhǔn)，價格是國內(nèi)儀器的良心價。

激光干涉儀是檢定數(shù)控機床、坐標(biāo)測量機位置精度的理想工具，可按照規(guī)定標(biāo)準(zhǔn)處理測量數(shù)據(jù)并輸出誤差曲線，為數(shù)控機床的誤差 修正提供可靠依據(jù)，現(xiàn)場使用尤為方便。

激光干涉儀配有各種附件，可測量小角度、平面度、直線度、平 行度、垂直度等形位誤差。

激光干涉儀也是一種高精度位移傳感器，可直接用于高精度、大 尺寸的動態(tài)位移測量系統(tǒng)。

激光干涉儀具有對光柵、磁柵、線紋尺、感應(yīng)同步器等精密測量 元件的檢測和刻劃功能，可按預(yù)定的間距自動完成檢測和刻劃定位。