激光干涉儀是檢定數(shù)控機(jī)床、坐標(biāo)測(cè)量機(jī)位置精度的理想工具，可按照規(guī)定標(biāo)準(zhǔn)處理測(cè)量數(shù)據(jù)并輸出誤差曲線，為數(shù)控機(jī)床的誤差 修正提供可靠依據(jù)，現(xiàn)場(chǎng)使用尤為方便。

激光干涉儀配有各種附件，可測(cè)量小角度、平面度、直線度、平 行度、垂直度等形位誤差。

激光干涉儀也是一種高精度位移傳感器，可直接用于高精度、大 尺寸的動(dòng)態(tài)位移測(cè)量系統(tǒng)。

激光干涉儀具有對(duì)光柵、磁柵、線紋尺、感應(yīng)同步器等精密測(cè)量 元件的檢測(cè)和刻劃功能，可按預(yù)定的間距自動(dòng)完成檢測(cè)和刻劃定位。

1.測(cè)量精度高、速度快，穩(wěn)定性好

①使用美國(guó)高性能氦氖激光器，結(jié)合伺服穩(wěn)頻控制系統(tǒng)，達(dá)到高精度穩(wěn)頻(0.05ppm)

②以光波長(zhǎng)(633nm)為測(cè)量單位，分辨率可達(dá)nm級(jí)

③使用高速光電信號(hào)采樣和處理技術(shù)，測(cè)量速度可達(dá)到4m/s。

④配合有環(huán)境補(bǔ)償單元，在環(huán)境變化的情況下，也可以得到較高的測(cè)量精度

⑤分離式干涉鏡設(shè)計(jì)，避免了測(cè)量鏡組由于主機(jī)發(fā)熱而引起的鏡組形變

2. 應(yīng)用范圍廣

①可以實(shí)現(xiàn)線性、角度、直線度、垂直度、平面度等幾何量的檢測(cè)

②結(jié)合我們的軟件系統(tǒng)，可以用于速度，加速度，振動(dòng)分析以及穩(wěn)定度等分析

③ 可實(shí)時(shí)監(jiān)控精密加工機(jī)床等機(jī)器的動(dòng)態(tài)數(shù)據(jù)，進(jìn)行動(dòng)態(tài)特性分析

3.軟件界面友好

①使用當(dāng)前熱門(mén)的軟件界面開(kāi)發(fā)工具，軟件界面人性化，操作簡(jiǎn)單。

②將靜態(tài)測(cè)量和動(dòng)態(tài)測(cè)量?jī)煞N功能合并到一個(gè)軟件中，更方便用戶(hù)切換測(cè)量類(lèi)型。

③向?qū)讲僮?，流程清晰，更符合?guó)內(nèi)用戶(hù)的使用習(xí)慣。

4 性?xún)r(jià)比高

性能達(dá)到了國(guó)外儀器的水準(zhǔn)，價(jià)格是國(guó)內(nèi)儀器的良心價(jià)。

 
三.中圖儀器激光干涉儀技術(shù)參數(shù)

      系統(tǒng)性能

² 測(cè)量方式：?jiǎn)晤l

² 穩(wěn)頻精度：0.05ppm

² 動(dòng)態(tài)采集頻率：50 kHz

² 預(yù)熱時(shí)間：5-10分鐘

² 工作溫度范圍：0~40℃

² 環(huán)境溫度范圍：0~40℃

² 存儲(chǔ)溫度范圍：-20℃~70℃

      環(huán)境補(bǔ)償示值誤差

² 空氣溫度傳感器：±0.2℃ (0-40℃)，分辨率0.01℃

² 材料溫度傳感器：±0.1℃ (0-40℃)，分辨率0.01℃

² 空氣濕度傳感器：±6% (0-95%)

² 大氣壓力傳感器：±1mBar (650-1150mbar)

      線性測(cè)量

² 測(cè)量距離：0-40m

² 測(cè)量精度：0.5ppm (0-40℃)

² 測(cè)量分辨率：1nm

² 測(cè)量最大速度：4m/sec