產(chǎn)品型號(hào)：ZYJG-2000。

激光清洗系統(tǒng)產(chǎn)品說明：

        Ex-light是新一代準(zhǔn)分子激光清洗系統(tǒng)。采用了德國(guó)Mlase超穩(wěn)定的低功率準(zhǔn)分子激光器，通過光束傳導(dǎo)、勻化、投影技術(shù)，使激光均勻照射到材料表面，對(duì)材料進(jìn)行紫外激光加工。該系統(tǒng)結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)緊湊，集成度高，光路穩(wěn)定實(shí)用，光斑勻化效好，傳輸效率高，增強(qiáng)樣品表面激光能量密度，提高加工質(zhì)量和效率。

準(zhǔn)分子激光器：

       逐層去除、非接觸式、無二次污染、無損耗。

應(yīng)用行業(yè)：

        1、微電子行業(yè)：晶圓面板激光清洗、電路板清洗；

        2、OLED微型顯示器芯片：芯片管腳PAD焊線前激光清洗、液晶顯示器清洗；

        3、文物藝術(shù)品保護(hù)：無損還原；

        4、汽車產(chǎn)業(yè)：各種焊接處焊后激光清洗；

        5、其它：材料表面各種雜質(zhì)、氧化物、微小顆粒物、油污去除。

技術(shù)特點(diǎn)：

1、DUV準(zhǔn)分子激光器，短脈寬，高峰值功率；

2、靜態(tài)氣體壽命 >30天；

3、激光器壽命 >20億次脈沖；

4、多種光路方案，可定制；

5、反射/透射照明；

6、X，Y位移臺(tái)安裝在剛性花崗巖基座上，線性驅(qū)動(dòng)，1μm分辨率 ；

7、電動(dòng)焦點(diǎn)控制（沿Z軸）；

8、配有同軸和離軸相機(jī)，模式識(shí)別軟件可選 ；

9、快速響應(yīng)時(shí)間，易于操作的軟件；

10、同軸機(jī)器視覺示意圖，所見即所得。

光束傳播特點(diǎn)：

1、能量控制 10-80% ；

2、投影縮倍4x-20x ，可定制；

3、工作距離>25mm；

4、目標(biāo)能量密度 0.25-10J/cm2 ；

5、同軸顯微成像；

6、光斑勻化系統(tǒng)。

光路勻化介紹：微透鏡陣列勻光成像示意圖
晶圓清洗監(jiān)控界面-所見即所得	加工代碼、路線、導(dǎo)航界面	準(zhǔn)分子激光傳輸/照明/機(jī)器視覺系統(tǒng)示意圖
Mlase準(zhǔn)分子激光器：采用德國(guó)Mlase準(zhǔn)分子激光器作為光源，能量輸出穩(wěn)定，光束質(zhì)量好，有較短脈沖寬度和較高峰值功率。免維護(hù)設(shè)計(jì)，使用簡(jiǎn)便、安全、穩(wěn)定、高效。

軟件功能：

圖形化加工路徑顯示

晶圓自動(dòng)聚焦、自動(dòng)對(duì)位

大視野晶圓導(dǎo)航圖

激光參數(shù)設(shè)定及調(diào)試

加工進(jìn)程控制、中斷自動(dòng)恢復(fù)

芯片參數(shù)導(dǎo)入

壞點(diǎn)剔除功能

參數(shù)：