1604年開普勒（J．Kepler）寫出光學著作，指出光的強度和到達光源距離的平方成反比。并于1611年出版《折射光學》。
1801年托馬斯•楊（Thomas Young）用雙狹縫實驗演示了光的干涉現(xiàn)象，即著名的楊氏雙縫實驗。
1881年邁克爾遜（Albert．A．Michelson）設計了著名的實驗來測量“以太”漂移。當然沒測到漂移，由此導致“以太”說的破滅和相對論的誕生。它首次用于干涉儀，以鎘紅譜線與國際米原器作對比。正是由于他的工作導致后來用光的波長定義“米”。由于他在精密光學儀器、光譜和計量領域的研究工作于1907年獲得諾貝爾獎。
1960年Maiman研制成功第一臺紅寶石激光器，從此開始了光學技術飛速發(fā)展的新時代。從此，激光干涉測量被廣泛地用于長度、角度、微觀形貌、轉(zhuǎn)速、光譜等領域，并和微電子技術、計算機技術集成，成為現(xiàn)代干涉儀。
1982年G．Binning和H．Rohrer研制成功掃描隧道顯微鏡，1986年發(fā)明原子力顯微鏡，1986年獲得諾貝爾獎。從此開始了干涉儀向納米、亞納米分辨率和精度前進的新時代。
由于激光具有極好的時間相干性，自問世以來，已研制出多種激光干涉儀：單頻激光干涉儀、雙頻激光干涉儀、半導體激光干涉儀、法布里-珀羅（F-P）干涉儀、X射線干涉儀等。
激光干涉儀是激光在計量領域中最成功的應用之一。利用光的干涉實現(xiàn)測量，具有非接觸、無損檢測的特點，已經(jīng)在各個不同領域得到廣泛的應用。
中圖儀器近期推出的 SJ6000激光干涉儀 采用進口高穩(wěn)頻氦氖激光器、雙縱模熱穩(wěn)頻技術、多參數(shù)環(huán)境補償技術、高速數(shù)字信號處理系統(tǒng)等技術，通過與不同的光學組件結(jié)合，實現(xiàn)對線性、角度、直線度、垂直度、平面度等幾何量的檢測。線性測長精度：±0.5ppm，激光穩(wěn)頻精度：0.05ppm。