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產(chǎn)品型號：
DU
產(chǎn)品特點：
本系統(tǒng)采用193nm準(zhǔn)分子激光器和355nm固體激光器，兼顧了兩種紫外激光器的優(yōu)勢，可以適應(yīng)更多的材料加工；同時兼顧加工速速和微米級甚至百納米級加工質(zhì)量；原位加工，還可以完成不同材料逐層加工，不失精度。
選配：
1、激光器：（以下激光器的兩種或者多種）、二氧化碳激光器、固體激光器（1064、532、355、266、213nm；1030、515、343nm可選）、準(zhǔn)分子激光器（波長308、248、193、157nm可選）、飛秒激光器（800、400、266nm；1028、514、343、257nm可選）、各種光纖飛秒激光器。
2、多光路切換：同一種激光器還可以出基頻、二倍頻、三倍頻、四倍頻切換輸出，或者多路輸出。
3、各種光束整形器件：光斑勻化器件、S波片、空間光調(diào)制器、貝塞爾光束、高斯轉(zhuǎn)平頂?shù)取?/p>
4、振鏡、旋切頭：大尺寸加工，高深徑比孔，傾斜孔等。