點擊圖片查看原圖德國PI PHYSIK INSTRUMENTE 位移臺 型號 P-528.TCD
公司介紹：
北京漢達森機械技術有限公司是一家從事歐洲工業(yè)產品進口貿易的公司。主要產品有工業(yè)自動化設備、機電設備、液壓設備、電氣設備和零部件等產品。公司總部于2007年在德國成立。公司自成立以來，一直以德國公司的身份為國內一些貿易商，設備商及終端客戶提供產品代購服務。
應用領域：
計量
干涉測量
光子學/集成光學
平版印刷術
納米定位
掃描顯微鏡
樣本對準
微加工
型號：P-528.TCD
主動軸：Z,θX,θY
集成傳感器：電容式
-20至120伏時Z向上的開環(huán)行程：240微米
θX、θY向上-20至120伏時的開環(huán)偏擺角：±1.2毫弧度
Z向上的閉環(huán)行程：200微米
θX、θY向上的閉環(huán)偏擺角：±1毫弧度
Z向上的開環(huán)分辨率：0.6納米
θX、θY向上的開環(huán)分辨率：0.06微弧度
Z向上的閉環(huán)分辨率：1納米
θX、θY向上的閉環(huán)分辨率：0.1微弧度
θX、θY向上的線性誤差：0.03%
Z向上的重復精度：±10納米
θX、θY向上的重復精度：±0.1微弧度
θZ向上的串擾（Z向運動）：<20微弧度
θX、θY向上的串擾（Z向運動）：<100微弧度