北京漢達森機械技術(shù)有限公司

德國PI PHYSIK INSTRUMENTE 位移臺 型號 P-733.3DD

公司介紹：

北京漢達森機械技術(shù)有限公司是一家從事歐洲工業(yè)產(chǎn)品進口貿(mào)易的公司。主要產(chǎn)品有工業(yè)自動化設(shè)備、機電設(shè)備、液壓設(shè)備、電氣設(shè)備和零部件等產(chǎn)品。公司總部于2007年在德國成立。公司自成立以來，一直以德國公司的身份為國內(nèi)一些貿(mào)易商，設(shè)備商及終端客戶提供產(chǎn)品代購服務(wù)。

應(yīng)用領(lǐng)域：

掃描顯微鏡

共聚焦顯微鏡

掩模/晶圓定位

表面測量技術(shù)

納米壓印

顯微操縱

圖像處理/穩(wěn)定

高運動平面度和直線度的納米定位

型號：P-733.3DD

主動軸：X、Y、Z

集成傳感器：電容式

-20至120伏時的開環(huán)行程：33微米×33微米×14微米

行程，閉環(huán)：30微米×30微米×10微米

分辨率，開環(huán)：0.1納米

分辨率，閉環(huán)：0.1納米

線性誤差（X、Y）：0.03%

線性誤差（Z）：0.03%

重復(fù)精度（X、Y）：<2納米

重復(fù)精度（Z）：<1納米

螺距（X、Y）：<±5微弧度

偏轉(zhuǎn)角（X、Y）：<±10微弧度

Z向運動時的傾斜：<±5微弧度

剛度：4（Z向上為10）牛/微米

諧振頻率，空載：1200（Z向上為1100）赫茲

帶120克負載時的諧振頻率：–赫茲

帶200克負載時的諧振頻率：530（Z向上為635）赫茲

運動方向上的推/拉力：50/20牛